Параметры структур КНИ с субмикронными слоями

Наименование параметра Ед. измерения Значение параметра
Приборный слой кремния
Краевое исключение при измерении параметров мм < 5
Толщина приборного слоя кремния нм 90 – 1000
Однородность толщины приборного слоя по пластине нм ± 12
Тип проводимости Р-тип / Бор
Сопротивление приборного слоя Ом·см 14 - 22
Ориентация приборного слоя <100>
Области несращивания диаметром > 0,5 мм шт. 0
Шероховатость поверхности на участке 2х2 мкм нм < 0,5
Металлические загрязнения ат./см2 < 5·1010
Светорассеивающие дефекты размером > 0,2 мкм шт. < 50
HF-дефекты шт./см2 < 0,5
Скрытый диэлектрик
Толщина скрытого окисла нм 100 – 2000
Однородность толщины скрытого окисла % < 5
Кремниевая подложка
Тип проводимости Р-тип / Бор
Сопротивление приборного слоя Ом·см 14 - 22
Ориентация приборного слоя <100>
Длина базового среза мм 57,5 ± 2,5
Ориентация базового среза <110>
Назад