| Приборный слой кремния |
| Краевое исключение при измерении параметров |
мм |
< 5 |
| Толщина приборного слоя кремния |
нм |
90 – 1000 |
| Однородность толщины приборного слоя по пластине |
нм |
± 12 |
| Тип проводимости |
|
Р-тип / Бор |
| Сопротивление приборного слоя |
Ом·см |
14 - 22 |
| Ориентация приборного слоя |
|
<100> |
| Области несращивания диаметром > 0,5 мм |
шт. |
0 |
| Шероховатость поверхности на участке 2х2 мкм |
нм |
< 0,5 |
| Металлические загрязнения |
ат./см2 |
< 5·1010 |
| Светорассеивающие дефекты размером > 0,2 мкм |
шт. |
< 50 |
| HF-дефекты |
шт./см2 |
< 0,5 |
| Скрытый диэлектрик |
| Толщина скрытого окисла |
нм |
100 – 2000 |
| Однородность толщины скрытого окисла |
% |
< 5 |
| Кремниевая подложка |
| Тип проводимости |
|
Р-тип / Бор |
| Сопротивление приборного слоя |
Ом·см |
14 - 22 |
| Ориентация приборного слоя |
|
<100> |
| Длина базового среза |
мм |
57,5 ± 2,5 |
| Ориентация базового среза |
|
<110> |