Наименование параметра | Ед. измерения | Значение параметра |
Масштаб переноса изображения | - | 5:1 |
Материал ФШЗ | - | кварцевое стекло |
Размер (типоразмер в соотв. с международной классификацией SEMI) | мм | (152x152) ± 0,4 ; (6012, 6025) |
Толщина ФШЗ | мм | 6,35 ± 0,13 |
Тип антиотражающего покрытия | - | хром с антиотражающим покрытием (AR) |
Однопозиционный герметичный контейнер для чистых помещений | - | да |
Оптические защитные мембраны (пелликлы) | - | да/нет (по согласованию с заказчиком) |
Тип пелликла | - | ASM07P-122-1017HFLC 109,0x86,00x5,00 мм ; ASM14P-122-1017HFLC 147,00x126,00x4,75 мм ; GCA04P-122-1017HFLC 97,50x97,50x6,05 мм ; или иной |
Минимальный размер на шаблоне | мкм | 1,2 |
Точность воспроизведения размеров | мкм | ± 0,1 / ± 0,05 |
Точность совмещения | мкм | 0,08 |
Однородность критических размеров | нм | не более 70 |
Размер недопустимого дефекта | мкм | 0,4 |
Проектирование | - | Проектирование шаблонов и подготовка управляющей информации по исходной топологической информации в формате OASIS, GDSII, DXF |