| Наименование параметра | Ед. измерения | Значение параметра |
| Толщина приборного слоя | мкм | 4 – 100 |
| Однородность толщины приборного слоя | мкм | ± 1,0 |
| Шероховатость поверхности на участке 2х2 мкм | нм | < 0,5 |
| Толщина скрытого окисла | мкм | < 2,0 |
| Однородность толщины скрытого окисла | % | < 5 |
| Полное отклонение толщины структуры КНИ (TTV) | мкм | < 5 |
| Прогиб | мкм | < 40 |
| Коробление | мкм | < 40 |
| Тип проводимости | P, N | |
| Ориентация приборного слоя и подложки | <100> | |
| Длина базового среза | мм | 57,5 ± 2,5 |