| Наименование параметра | Ед. измерения | Значение параметра |
| Масштаб переноса изображения | - | 1:1 |
| Материал ФШЗ | - | кварцевое стекло или боросиликатное стекло (soda lime) |
| Размер (типоразмер в соотв. с международной классификацией SEMI) | мм | (127x127) ± 0,8 ; (5009) |
| Толщина ФШЗ | мм | 2,30 ± 0,10 |
| Тип антиотражающего покрытия | - | хром или хром с антиотражающим покрытием (AR) |
| Однопозиционный герметичный контейнер для чистых помещений | - | да |
| Оптические защитные мембраны (пелликлы) | - | да/нет (по согласованию с заказчиком) |
| Тип пелликла | - | ASM07P-122-1017HFLC 109,0x86,00x5,00 мм ; GCA04P-122-1017HFLC 97,50x97,50x6,05 мм ; или иной |
| Минимальный размер на шаблоне | мкм | 0,5 |
| Точность воспроизведения размеров | мкм | ± 0,1 / ± 0,05 |
| Точность совмещения | мкм | 0,15 |
| Однородность критических размеров | нм | не более 50 |
| Размер недопустимого дефекта | мкм | 1,0 |
| Проектирование | - | Проектирование шаблонов и подготовка управляющей информации по исходной топологической информации в формате OASIS, GDSII, DXF |