Параметры фотошаблонов для проекционной литографии (проектные нормы 0,35 мкм)

Наименование параметра Ед. измерения Значение параметра
Масштаб переноса изображения - 5:1
Материал ФШЗ - кварцевое стекло
Размер (типоразмер в соотв. с международной классификацией SEMI) мм (152x152) ± 0,4 ;
(6012, 6025)
Толщина ФШЗ мм 6,35 ± 0,13
Тип антиотражающего покрытия - хром с антиотражающим покрытием (AR)
Однопозиционный герметичный контейнер для чистых помещений - да
Оптические защитные мембраны (пелликлы) - да/нет (по согласованию с заказчиком)
Тип пелликла - ASM07P-122-1017HFLC 109,0x86,00x5,00 мм ;
ASM14P-122-1017HFLC 147,00x126,00x4,75 мм ;
GCA04P-122-1017HFLC 97,50x97,50x6,05 мм ;
или иной
Минимальный размер на шаблоне мкм 1,2
Точность воспроизведения размеров мкм ± 0,1 / ± 0,05
Точность совмещения мкм 0,08
Однородность критических размеров нм не более 70
Размер недопустимого дефекта мкм 0,4
Проектирование - Проектирование шаблонов и подготовка управляющей информации по исходной топологической информации в формате OASIS, GDSII, DXF
Назад
Напишите нам сообщение