ЛАБОРАТОРИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ
физико-химических свойств структур и материалов

Лаборатория обеспечивает контроль полного набора параметров СБИС (геометрических, структурных, оптических, электрических) на протяжении всего цикла их создания, начиная с разработки технологии создания исходных структур, заканчивая исследованиями готовых СБИС. Разработаны методики оперативного контроля надежности в производстве БИС и СБИС на основе структур КНИ, реализуемые на оборудовании лаборатории. Лаборатория готова предоставлять услуги по оказанию помощи в проведении аналитических исследований на имеющемся оборудовании. 

Методы контроля геометрических параметров

  • Контактная профилометрия.
  • Оптическая и растровая электронная микроскопия.
  • Фотометрия и эллипсометрия.

Методы контроля примесного состава

  • Масс-спектрометрия вторичных ионов.
  • Рентгенофлюоресцентная спектроскопия.
  • Энергодисперсионная спектроскопия.

​Методы контроля электрофизических свойств​

  • Зондовые методы измерения проводимости.
  • Измерения ВФХ и ВАХ.
  • Измерения электрофизических параметров.

Перечень предлагаемых услуг

ВИЗУАЛИЗАЦИЯ И КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ БИС И СБИС ​

  • Контроль линейных размеров элементов топологии СБИС и поперечного сечения;
  • Выявление дефектов технологических операций;
  • Прецизионная подготовка образцов для микроскопии и химического анализа.

КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

  • Измерения поверхностного сопротивления проводящих материалов четырехзондовым методом;
  • Контроль электрофизических параметров тестовых структур (транзисторы, емкости, диоды, металлы, цепочки контактов, индуктивности и т.д.).

Вам также может быть интересно: