Фотошаблоны для проекционной и контактной фотолитографии

   › Основные характеристики

Размер шаблонов:

 • 152х152х6,35 мм (6025);
 • 127х127х2,3 мм (5009);

Материал подложки:

 • синтетический кварц с хромовым маскирующим антиотражающим покрытием;
 • щелочное стекло с хромовым покрытием;

Тип шаблона: бинарный;

Масштаб: 10:1, 5:1, 4:1, 1:1;

Точность совмещения: 70 нм;

Размер дефекта ≤ 0,3 мкм;

Минимальный размер: 0,5 мкм;

Допуск на размер: ±0,05 мкм;

Однородность размеров: 60 нм;

Пелликлы: (по согласованию с заказчиком)

 • односторонний – для промежуточных шаблонов 6025;
 • двухсторонний – для промежуточных шаблонов 5009;

   › Перечень предлагаемых услуг:

Услуги по изготовлению фотошаблонов

 • Изготовление промежуточных фотошаблонов СБИС с проектными нормами до 0,35 мкм в масштабе 5:1 и 4:1 для проекционной фотолитографии (ASML, Canon, Nikon);
Изготовление промежуточных фотошаблонов БИС c микронными проектными нормами в масштабе 5:1 для проекционной литографии (КБТЭМ-ОМО, Планар);
 • Изготовление промежуточных фотошаблонов масштаба 10:1 для фотоповторителей (AER);
 • Изготовление рабочих фотошаблонов масштаба 1:1 для контактной фотолитографии.

Услуги по ремонту и аттестации фотошаблонов

 • Измерение линейных размеров и координат;
 • Автоматизированный контроль топологии методом сравнения с проектными данными;
 • Контроль дефектов;
 • Лазерная ретушь дефектов;
 • Замена пелликлов, включая отмывку и переаттестацию.

­­­

Адрес электронной почты для получения подробной информации
по указанным продуктам и услугам: SVSmirnov@mvc-nn.ru

Контактное лицо: Смирнов Сергей Викторович – Руководитель подразделения разработки и изготовления фотошаблонов