Размер шаблонов: 152х152х6,35мм (6025);
127х127х2,3 мм (5009).
Материал подложки: синтетический кварц с хромовым маскирующим антиотражающим покрытием;
щелочное стекло с хромовым покрытием.
Минимальный размер 0,5 мкм
Допуск на размер ±0,05мкм
Однородность размеров 50 нм
Пелликлы односторонний – для промежуточных шаблонов 6025;
двухсторонний – для промежуточных шаблонов 5009
Тип шаблона бинарный
Точность совмещения 40 нм
Масштаб 10:1, 5:1, 4:1, 1:1
Размер дефекта ≤ 0,3 мкм