Производство чувствительных элементов для изделий МСТ по конструкции предприятий-потребителей

 

Основные технологические операции Анизотропное плазмохимическое травление кремния, алюминия;
Глубокое реактивно-ионное травление кремния (BOSH процесс);
Изотропное жидкостное травление материалов;
Травление окисла кремния в парах травителя (HF);
Утонение, шлифовка, полировка (в т.ч. химико-механическая) пластин кремния;
Формирование термического окисла кремния, CVD, Si3N4;
Легирование кремния (фосфор, бор) – имплантация, диффузия;
Напыление металлов (Al, Ti, Cr, Ni, Cu и др.);
Нанесение фоторезиста методом спрея и центрифугированием;
Двусторонняя прецизионная фотолитография и совмещение пластин,
в т.ч. по скрытому слою;
Сращивание пластин кремния – непосредственное, через окисел,
со стеклом (анодная сварка), сращивание через медь
Диаметр исходных пластин ≤ 100 мм
Проектные нормы ≥ 2 мкм
Толщина приборного слоя От 30 до 360 мкм
Производительная мощность До 4000 изделий в год
Основные области применения
чувствительных элементов для изделий МСТ
Микроинклинометры; Датчики давления; Датчики угловых скоростей;
Изделия магнитометрии; Микроинклинометры; Микродвигатели

 

Технология поверхностной микромеханики

Структура чувствительного элемента преобразователя абсолютного давления, изготовленная с использованием поликремниевой мембраны и операции травления жертвенного слоя через капилляры

Технология объемной микромеханики

 

Структура чувствительного элемента микроакселерометра, изготовленная с использованием операции глубокого реактивно-ионного травления кремния на пластине КНИ

 Технология сращивания и глубокого реактивно-ионного травления кремния (BDRIE)

Структура чувствительного элемента микроакселерометра с внутренним объемом, герметизируемым на уровне пластины (перспективное изделие)